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CXS系列旋转冲洗甩干机
CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于硅圆片、光刻版等类似材料的高洁净度冲洗及干燥工艺，适用于2-12英寸晶圆，LXS系列旋转冲洗甩干机主要用于材料加工、太阳能电池片、分立器件等行业、单台产量大、效率高。 · 采用高性能可编程控制器实现逻辑控制 · 采用彩色液晶汉显监控，可存储百种用户工艺菜单 · 结构采用洁净化处理技术 · 去离子水电阻率监控 · 防静电控制 · 氮气温度控制 · 腔体温度控制 · 转轴氮气密封 · 无刷电机驱动 · 旋转载体定位 · 故障诊断，显示及报警
所属分类
化学处理设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于硅圆片、光刻版等类似材料的高洁净度冲洗及干燥工艺，适用于2-12英寸晶圆，LXS系列旋转冲洗甩干机主要用于材料加工、太阳能电池片、分立器件等行业、单台产量大、效率高。
· 采用高性能可编程控制器实现逻辑控制
· 采用彩色液晶汉显监控，可存储百种用户工艺菜单
· 结构采用洁净化处理技术
· 去离子水电阻率监控
· 防静电控制
· 氮气温度控制
· 腔体温度控制
· 转轴氮气密封
· 无刷电机驱动
· 旋转载体定位
· 故障诊断，显示及报警
