联系方式
联系电话:
010-57989188
联系人:
党先生（四十五所市场部）：150 1083 3580
段先生（半导体清洗设备）：153 2152 0153
朱先生（电子元件设备）：156 9999 6627
DYX-420SY全自动匀胶机
该设备为星型全自动匀胶设备，主要应用于4″或5″晶圆涂胶、预烘工艺。采用标准片盒收放片，工艺过程单片处理，自动运行，主要适用于分立器件、功率器件等领域。
所属分类
匀胶显影设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
该设备为星型全自动匀胶设备，主要应用于4″或5″晶圆涂胶、预烘工艺。采用标准片盒收放片，工艺过程单片处理，自动运行，主要适用于分立器件、功率器件等领域。
主要技术指标
晶圆尺寸：4″、5″
上/下片单元数量：4个（两个上片、两个下片）
手指数量：2个
胶腔数量：2个
主轴转速：0～5000rpm，最高：5000rpm
转速精度：±2rpm (50～5000rpm)
光刻胶供给量(Teflon吐出泵)：1～10ml
光刻胶供给精度：±0.1ml
光刻胶粘度：≤500Cp
热板数量：4个
温度范围：室温～180℃±1℃（可设置）
最小调整量：0.1℃
温度均匀性：±2℃@50℃～100℃、±3℃@100.1℃～180℃
外形尺寸：L1400mm×W1200mm×H1800mm
重量：800Kg
