联系方式
联系电话:
010-57989188
联系人:
党先生（四十五所市场部）：150 1083 3580
段先生（半导体清洗设备）：153 2152 0153
朱先生（电子元件设备）：156 9999 6627
DYX-810P喷雾涂胶机
该产品适用于具有崎岖表面的异形基片表面光刻胶涂覆，主要应用于MEMS、陶瓷器件等领域。
所属分类
匀胶显影设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
该产品适用于具有崎岖表面的异形基片表面光刻胶涂覆，主要应用于MEMS、陶瓷器件等领域。
主要技术指标
最大晶圆尺寸：8″
胶腔数量：1个
胶腔材质：进口PP
主轴转速：0～200rpm，额定：100rpm
转速精度：±1rpm (0～100rpm)
光刻胶粘度：≤100Cp
喷嘴数量：1套
胶液流量：1～5ml/min
胶液供给精度：±0.1ml
雾化气体压力：0.1～0.3MPa
雾化气体流量：10～30L/min
电缸X轴最大速度：200mm/s
电缸Y轴最大速度：200mm/s
电缸精度：±0.1mm
温度范围：50～150℃
温度均匀性：±3℃
外形尺寸：L1500mm×W960mm×H1600mm
重量：400Kg
