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DYX-430SY自动匀胶机
该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、预烘工艺。
所属分类
匀胶显影设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、预烘工艺。
主要技术指标
晶圆尺寸：3″、4″
机械手：1套
匀胶单元：3套
主轴转速：0～6000rpm，
最小调整量：1rpm
转速精度：±1rpm(50～5000rpm)
主轴加速度：100～20000rpm/sec
胶液数量：2路
背洗功能：可选
去边功能：可选
光刻胶供给：精密胶泵
光刻胶供给量：1～10ml
光刻胶供给精度：±0.1ml
光刻胶粘度：≤1000Cp
光刻胶过滤：可选
热板数量：6套
温度范围：室温～180℃
最小调整量：0.1℃
加热方式：云母加热片加热
温度均匀性：±1℃@50℃～120℃、±2℃@120.1℃～180℃
冷板数量：2套
冷却方式：厂务冷却水循环冷却
水温范围：18℃～30℃
外形尺寸：L1750mm×W1600mm×H1900mm
重量：1600Kg
