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TZ-803A自动探针台
TZ-803A自动探针测试台是针对集成电路、半导体分立器件的中测设备，兼容5-8英寸晶圆。具备自动扫描、自动对准、自动测试等功能。它与测试仪连接后，能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。主要技术特点承片台全新的四轴支撑设计，满足大行程、高精度、高刚性测试需求。自动传输系统晶圆自动传输系统由片盒承载台、关节机械手和预对准系统三部分组成。是全自动探针台的主要组成部分，具有良好的载片可靠性，预对准速度、精度高等特点。图像自动对准系统自主研发的CCD自动扫描对准系统，扫描对准精度高、速度快。显微镜观察系统采用新型结构的显微镜观察系统，可实现三维调节，更加贴近实际的测试需求。界面显示Windows友好界面，测试状态实时显示，简洁明了，便于使用。
所属分类
芯片制造设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
TZ-803A自动探针测试台是针对集成电路、半导体分立器件的中测设备，兼容5-8英寸晶圆。具备自动扫描、自动对准、自动测试等功能。它与测试仪连接后，能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。
主要技术特点
承片台
全新的四轴支撑设计，满足大行程、高精度、高刚性测试需求。
自动传输系统
晶圆自动传输系统由片盒承载台、关节机械手和预对准系统三部分组成。是全自动探针台的主要组成部分，具有良好的载片可靠性，预对准速度、精度高等特点。
图像自动对准系统
自主研发的CCD自动扫描对准系统，扫描对准精度高、速度快。
显微镜观察系统
采用新型结构的显微镜观察系统，可实现三维调节，更加贴近实际的测试需求。
界面显示
Windows友好界面，测试状态实时显示，简洁明了，便于使用。
