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TZ-603B自动探针台
TZ-603B自动探针测试台是高速、高精度机型，主要适用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路芯片的测试。它与测试仪连接后，能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。最大兼容6英寸晶圆。 主要技术特点界面显示Windows友好界面，Mapping图实时显示。支持离线打点功能。具有BIN测试和环内测试功能。具有坏点重测功能和两点对准功能。工作台机构工作台机构：采用精密导轨丝杠，步进电机驱动高速度、高精度。工作台速度：≥200mm/s。定位精度：≤±0.01mm/160mm。步进分辨率：0.001mm。承片台机构Z向重复定位精度：≤±0.003mm。Z向分辨率：0.001mm。电控系统采用高性能计算机，Windows操作系统，液晶显示器；低辐射电控系统设计，抗干扰能力强，可实现2000V以内高压测试；TTL专用接口，支持RS-232接口（可选）,GPIB-488接口（可选）。
所属分类
芯片制造设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
TZ-603B自动探针测试台是高速、高精度机型，主要适用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路芯片的测试。它与测试仪连接后，能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。最大兼容6英寸晶圆。
主要技术特点
界面显示
Windows友好界面，Mapping图实时显示。
支持离线打点功能。
具有BIN测试和环内测试功能。
具有坏点重测功能和两点对准功能。
工作台机构
工作台机构：采用精密导轨丝杠，步进电机驱动高速度、高精度。
工作台速度：≥200mm/s。
定位精度：≤±0.01mm/160mm。
步进分辨率：0.001mm。
承片台机构
Z向重复定位精度：≤±0.003mm。
Z向分辨率：0.001mm。
电控系统
采用高性能计算机，Windows操作系统，液晶显示器；
低辐射电控系统设计，抗干扰能力强，可实现2000V以内高压测试；
TTL专用接口，支持RS-232接口（可选）, GPIB-488接口（可选）。
