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SFQ/SFQZ系列湿法清洗设备
SFQ/SFQZ系列湿法设备广泛应用于集成电路、光电子器件、MEMS及分立器件、半导体材料加工、太阳能光伏等领域，用于各种半导体基片及类似材料制造过程中湿化学处理工艺，有手动、半自动及全自动三种配置。六大专有技术湿法清洗设备系统集成技术气/液自动传输及控制技术材料与化学工程防护技术温度传递及精确控制技术晶片自动传输及自动控制技术溶液流场均匀性控制技术主要技术特点：系统结构：设计紧凑、洁净、防腐、安全、多种式样机架可供选择控制方式：采用高性能PLC或工控机实现集中控制，结合单元功能控制简化操作槽体配置：材料：NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不锈钢等多种材料 功能：恒温控制（加热/制冷）、循环、过滤、自动补液、抖动、旋转、超声/兆声、溢流、快排、鼓泡、干燥等定制设计：根据用户要求提供工艺配置及技术支持
所属分类
化学处理设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
SFQ/SFQZ系列湿法设备广泛应用于集成电路、光电子器件、MEMS及分立器件、半导体材料加工、太阳能光伏等领域，用于各种半导体基片及类似材料制造过程中湿化学处理工艺，有手动、半自动及全自动三种配置。
六大专有技术
· 湿法清洗设备系统集成技术
· 气/液自动传输及控制技术
· 材料与化学工程防护技术
· 温度传递及精确控制技术
· 晶片自动传输及自动控制技术
· 溶液流场均匀性控制技术
主要技术特点：
· 系统结构：设计紧凑、洁净、防腐、安全、多种式样机架可供选择
· 控制方式：采用高性能PLC或工控机实现集中控制，结合单元功能控制简化操作
· 槽体配置：材料：NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不锈钢等多种材料
功能：恒温控制（加热/制冷）、循环、过滤、自动补液、抖动、旋转、超声/兆声、溢流、快排、鼓泡、干燥等
· 定制设计：根据用户要求提供工艺配置及技术支持
