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TZ-501A全自动探针测试台
该设备为全自动设备，主要用于半导体分立器件GPP的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。
所属分类
探针测试设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
该设备为全自动设备，主要用于半导体分立器件GPP的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。
主要技术指标
工作台：
□可测片径:3″、4″、5″
□最大行程:170mm×240mm
□定位精度:≤±0.030mm/150mm
□步进分辨率:0.001mm
承片台：
□Z向行程:10mm
□Z向重复定位精度:≤±0.003mm
□Z向分辨率:0.001mm
□θ向自动调节范围:±10°
□θ向分辨率:0.0013°
