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TZ-606T特种器件探针测试台
该设备是一款自动探针台，具有晶圆自动对准、自动定位启测点自动测试等功能。同时具有晶圆ID识别功能，可单芯测试也可连续测试。软件功能丰富可为企业提供不同的测试解决方案，极大提高产能及效应。应用领域涵盖晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、高压器件、光电器件等特性分析测试等。
所属分类
探针测试设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
该设备是一款自动探针台，具有晶圆自动对准、自动定位启测点自动测试等功能。同时具有晶圆ID识别功能，可单芯测试也可连续测试。软件功能丰富可为企业提供不同的测试解决方案，极大提高产能及效应。应用领域涵盖晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、高压器件、光电器件等特性分析测试等。
主要技术指标
□可测片径：4"、5"、6"
□工作台最大行程：180mm×240mm
□工作台速度：≥200mm/s
□定位精度：≤±0.005mm/160mm
□步进分辨率：0.001mm
□承片台Z向行程：10mm
□Z向定位精度：≤±0.003mm
□Z向分辨率：0.001mm
□θ向调节范围：±10°
□θ向分辨率：0.0013°
□晶圆装载方式：手动
□外形尺寸(主机)：700mm×800mm×800mm
