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TZ-803A自动探针测试台
该设备主要用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路晶圆上各个芯片的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。
所属分类
探针测试设备
关键词：集成电路制造设备，半导体照明器件制造设备，光伏电池制造设备，光电组件制造和系统集成与服务
产品描述
该设备主要用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路晶圆上各个芯片的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。
主要技术指标
□可测片径：5″、6″、8″
□工作台最大行程：240mm×300mm
□定位精度：≤±0.010mm/200mm
□工作台最大速度:200mm/s
□步进分辨：0.001mm
□承片台Z向行程：20mm
□Z向定位精度：≤±0.003mm
□Z向分辨率：0.001mm
□θ向调节范围：±6°
□θ自动对准精度：≤±0.01°
□外形尺寸：750mm×1250mm×1600mm
