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2018-11-26
CXS系列旋转冲洗甩干机是由中国电子科技集团公司第四十五研究所根据国际、国内半导体产业的发展和市场需求研究开发的旋转冲洗甩干设备。该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模版、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主要设备之一。1．CXS系列机型CXS系列机型针对不同用户、不同工艺需求、不同应用场合开发了系列化机型。用户可按自己的要求和不同工艺选择适合自
2018-11-26
划片机是一种高精密设备，精度的稳定性、使用的安全性及可靠性都与工作的环境、维护保养息息相关。1.环境与外围要求 划片机必须安装在无振动源，室内温度为20~25摄氏度的净化间内，并配有气源、水源、电源、排污口、抽雾装置等。 气源要求是经过过滤、冷凝、干燥洁净的压缩空气，压力不低于0.5MPa，过滤精度大于0.01μm，露点-15℃、除去油分99.5%。 主轴冷却水建议用去离子水，压力不低于0.