切割成品图
下图
为单向和双向切割的硅片表面图片和边缘图片,左侧为本设备切割硅片,右侧为用户硅片,其中单向切割表面无线痕
下图为切割长度为300mm,125×125mm规格硅片TTV值分布图,测试点如左图所示,片厚200um,其TTV值分布均在±15um以内, TTV值满足太阳能硅片指标要求