TZ-606T LED自动探针测试系统
该系统是最新的专用于LED光、电参数的高性能测试系统。秉承了我所多年以来在探针设备领域研发和生产经验的积累。具有高可靠行、高速、高精度等特点，配接高性能LED专用测试仪，主要适用于蓝光LED芯片的光、电参数测试，配置兼容mcd和mw测试。
主要技术特点
1. 方便、实用的操作控制台，易于上手，使用方便。 2. 显微镜和积分球结构可自动、手动切换，方便对LED光参数的测试。 3. windows友好界面，测试状态实时，Map图实时显示，测试参数、数据实时显示。简介明了，便于使用。 4. 压力可调精密测试探针，调节方便、可靠耐用。
主要技术指标：
□ 最大产能：≥15k/hr □ 可测片径：2″、3″、4″、5″                              □ 步距范围：0.005mm～3mm                      □ 定位精度：≤±0.005mm/80mm                      □ 步进分辨率：0.001mm □ Z向行程：10mm □ Z向分辨率：0.001mm          □ θ向调节范围：±10 º                                         □ 观察装置： 三目显微镜放大倍数14X～200X（配光参数接口）                    □ 上、下片方式： 手动方式                 □ 圆片自动扫描时间(2″):约3分钟                       □ 可解析的MAP图格式              □ 外形尺寸：（长×宽×高）：900mm×800mm×1800mm                     □ 功率：AC 220V±22V 50Hz±1Hz 1kW       □ 真空：0.08MPa（用户自备）