ST-103A型手动探针测试台

该设备是手动型探针台。它与测试仪连接后，主要用于各种半导体器件芯片的电参数测试，适用于科研分析用途、及小批量生产和检验测试。

设备特点

1． 可配高倍率显微镜（可选）； 2． 可加装视频显示系统（可选）；

主要技术指标

□ 可测片径：3″、4″、5″、6″ □ 显微镜：双目体视显微镜，放大倍数14X～90X，225X（可选） □ 工作台行程：154mm×154mm □ Z向行程：2mm 可调 □ θ向调节范围：±45 º □ 外形尺寸：（长×宽×高）600mm×460mm×510mm □ 重量：50㎏

使用环境要求

□ 电源： AC 220V±22V 50Hz±1Hz □ 功率：0.05kW □ 真空：< -80 KPa（用户自备） □ 使用温度环境：15ºC-25ºC □ 相对湿度：＜70%