SB-601型曝光机

产品规格参数：

SB-601型曝光机

　

主要用于功率电子器件、传感器、光电子器件、微波电路、MEMS（微电子机械系统）以及其它新型电子元器件的单、双面对准及曝光工艺。

　

主要技术特点

1. 独特的版架支撑系统，可对基片与掩模之间的接触压力进行调节和显示，实现掩模与基片的精确分离和接触。
2. 底部和顶部对准观察系统扫描范围大，成像清晰、定位精度高。物镜由微电机驱动，可独立进行X、Y、Z向三维调节，移动速度线性可调。
3. 由多关节机械手和预对准台实现自动上、下片，提高生产效率。
4. 采用先进的空气轴承设计，可快速、精确地进行楔形误差补偿，结构自由度高，找平效果好。高性能恒功率汞灯电源，易于触发，可靠性高，并具有安全保护功能。
　

主要技术指标

□ 基片尺寸： φ6″
□ 掩模尺寸： 7″× 7″
□ 双面对准精度：2.0μm (20×物镜)
□ 放大总倍率：90×、175×、350×
□ 对准工作台机构指标：
   行程: X/Y: ±5mm
   θ向旋转: ±5°（C型）；
   ±3°（A、B型）

□ Z向驱动机构指标：
   Z向驱动行程:   10mm
□ 曝光光源机构指标：
   曝光分辨率：    1.5μm（真空接触）
   最大曝光范围： φ160mm，UV400
   曝光不均匀性： ±5%（φ160mm）；±3%（φ110mm）
   曝光强度：      ≥10mW/cm²（1000W汞灯）
□ 物镜分离距离:      30～100mm(BSA)（B、C型）
                      60～100mm(BSA)（A型）
                      30～145mm(TSA)
□ 预对准台精度：     ±60μm（可选，仅适用于φ4″、φ6″基片）
□ 所需设施：
   输入电压：～220V±22 V(50Hz)
   整机功率： 1.5KW
   室内光线:   红色、黄色
   压缩空气： 0.5～0.7MPa
   氮气：      0.2～0.4MPa
   真空：      －0.08～－0.1MPa
□ 体积及重量：
   外形尺寸：     1500mm×1100mm×1860mm （A型）
   940mm×1100mm×1860mm （B、C型）
   重量：500kg（A型）          400kg（B、C型）　