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□ 切割晶棒最大直径:153mm □ 刀片规格:690mm×241mm×0.15mm 或690mm×235mm×0.15mm □ 切割晶棒最大长度:400mm □ 切割进给速度:0.2~120mm/min □ 切割返回速度:1~1000mm/min □ 主轴转速:1420r/min □ 送料进给步距偏差:±0.005mm(按1mm当量进给) □ 片厚设定范围:0.001~68.000mm 片厚设定分辨率:0.001mm □ 晶向调节:水平方向(X)±7°(分辨率2′) 垂直方向(Y)±7°(分辨率2′) □ 功耗:3.5kW , ~ 380V±38V ,50Hz±1 Hz □ 空气源:0.4~0.5MPa;250L/min(刹车瞬时) □ 冷却水源:0.2~0.4MPa;5L/min □ 触摸屏:7.7英寸 □ 外形尺寸:1645mm×925mm×2820mm □ 重量: 2500kg
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