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□ 切割晶棒最大直径:<100mm □ 刀片规格:φ422㎜×φ152㎜ □ 切割晶棒最大长度:350mm □ 切割进给速度:1~99mm/min □ 切割返回速度:1~999mm/min □ 送料进给步距偏差 :±0.007mm □ 片厚设定范围: 0.001~40.000mm □ 晶向调节 水平方向(X)±7°(分辨率2′) 垂直方向(Y)±7°(分辨率2′) □ 功耗:2.5kW , ~380V±38V ,50Hz±1 Hz □ 空气源:0.4~0.5MPa □ 触摸屏:5.7英寸 □ 外形尺寸:1100mm×660mm×2230mm □ 重量:1100kg □ 可选方案: ● φ422 mm规格加深型刀盘配置方案,使片厚设定范围最大可达58.000mm。 ● φ457 mm规格刀盘配置方案,使切割晶棒最大直径可达100mm。
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