产品系列

由45所研制的6000多台（套）专用设备在我国集成电路制造行业和电子元件生产行业的企业及近百家科研院所、高校发挥了重要作用，市场覆盖面达全国29个省市、自治区，除国内用户外，划片设备、冲洗甩干设备、材料加工设备、铝电解电容生产设备等已出口到美国、 英国、新加坡、朝鲜及东南亚等地区。

  □ 半导体制造设备
  □ 电子元器件、组件制造设备
  □ 其它机电一体化设备
  □ 电子元器件与精密刃具

  □ 光刻设备
  □ CMP设备
  □ 清洗设备
  □ 测试设备
  □ 封装设备
  □ 材料加工设备
  □ 网版印刷设备
  □ AOI设备
  □ 图书装订设备
  □ 石英晶体谐振器/金刚石刃具

产品荣誉

在50年的科研生产实践中，45所培养和造就了一批长期坚持在专用设备制造领域潜心研究的专业人才，在微电子学、精密光学、计算机应用、自动控制、精密机械、液压、气动及系统工程等诸多技术应用方面居国内领先地位。获得科研成果300多项，其中100多项分别获得国家、省（部）级以上奖励；申请并获得技术专利30 多项；有59种专用设备被国家列入替代进口产品目录，另有二十多项被列为国家级新产品。

2007年 CXS—2150型旋转冲洗甩干机 自主创新品牌产品
2006年 HP-602型精密自动划片机 中国半导体创新产品和技术奖
2006年 6英寸双面光刻机 科学技术奖 三等奖
2006年 6英寸精密自动划片机 科学技术奖 三等奖
2005年 CXS-2150旋转冲洗甩干机 国家科学技术奖 三等奖
2005年 0.5微米分步投影光刻机 国家科学技术工业委员会
2005年 自动划片机 上海工业博览会 铜奖
2005年 全自动芯片键合机 科学技术奖 三等奖
2004年 Φ150mm旋转冲洗甩干机 科学技术奖 三等奖
2004年 0.5微米分步投影光刻机 科学技术奖 二等奖
1998年 QP-613自动内圆切片机 科学技术进步三等奖
1998年 低温探针测试系统 电子工业科技进步二等奖
1996年 BG-601大面积自动曝光机 科学技术进步二等奖
1995年 WY-203自动精密网版印刷机 电子工业科技进步三等奖
1994年 QP-4B内圆切片机 国家级新产品
1993年 TZ-107探针测试台 电子工业科技进步三等奖
1993年 功率器件曝光机 机电部科技进步三等奖
1989年 1型精密网版印刷机 机电部科技进步三等奖
1989年 QP-301切片机 机电部科技进步奖二等奖
1985年 QP-4内圆切片机 电子工业科技成果一等奖
1985年 远紫外曝光机 电子工业科技成果一等奖
1980年 光栅定位四头精缩照相机 重大技术改进成果二等奖
1980年 QP-3型内圆切片机 电子工业科技成果一等奖
1980年 TZ-4自动多探针 国家重大技术成果二等奖