发光二极管(LED)生产设备
光刻设备
抛光设备
主要用于 蓝宝石、碳化硅、砷化镓等硬脆性材料表面纳米级单面抛光设备,在抛光过程中,抛光压力、上下盘转速、抛光液流量等工艺参数采用程序自动控制,具有在线自动清洗、抛光工艺采集和储蓄等功能。
探针设备
该系统是最新的专用于LED光、电参数的高性能测试系统。秉承了我所多年以来在探针设备领域研发和生产经验的积累。
划片设备
固晶设备