集成电路生产设备

 
 

  硅片清洗设备

SFQ系列湿法清洗台

·SFQ系列湿法清洗台

立式旋转冲洗甩干机

·LXS系列立式旋转冲洗甩干机
主要应用于各种半导体基片及类似材料制造过程中的湿法清洗工艺。 主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节,具有容量大、效率高的特点。
       

冲洗甩干机

·CXS系列旋转冲洗甩干机

腐蚀清洗机

·DXQ-1100F腐蚀清洗机
主要用于硅圆片、掩模板、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干。
 
用于集成dxq1100.asp电路制造工艺过程中单晶圆湿法清洗。主要针对批量生产,工艺种类繁多的用户。
       

·JDQ系列晶圆电镀设备

 

 
主要用于100mm~200mm半导体晶圆上Au、Cu、PbSn、AgSn等不同材料的湿法电镀工艺
 
       

 

  探针测试设备

·TZ-603B型自动探针测试台

·TZ-803八英寸全自动探针台
高速、高精度、高压型探针机型,主要适用于半导体分立元件,光电元件的高压测试,可遮光测试。 该设备是用于兼容5、6、8英寸片径的半导体分立器件、中小规模集成电路器件测试的全自动中测台设备 。
       
 

  划片设备

HP-801T型精密自动划片机

·HP-801T型精密自动划片机

精密自动划片机

·HP-603型精密自动划片机
主要用于二极管、电容器件以及半导体致冷器件的划切分割。 主要用于硅集成电路,发光二极管,铌酸锂、压电陶瓷、石英、砷化镓、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、玻璃等材料的划切加工。
       


 
 
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