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电科装备45所湿法设备进入国内主流8英寸芯片产线 | 喜迎二十大 建功新时代
近日，电科装备45所自主研制的双8英寸全线自动化湿法整线设备进入国内主流FAB厂。该整线设备满足8英寸90nm-130nm工艺节点，适用于8-12英寸BCD芯片工艺中的湿化学制程。
研国内主流FAB厂现行湿法设备SEMI标准，跟踪先进高端工艺，持续攻克Cassette-less高洁净清洗、精准湿法微腐蚀、Megasonic无损伤清洗等核心技术，同时配套集成EFEM、ACB、CTC、WTR、LFR等标准模块，为实现湿法设备在主流工艺线的无缝对接，提高湿法设备的工艺处理能力和品牌影响力夯实根基。