LXS系列立式旋转冲洗甩干机

LXS系列立式旋转冲洗甩干机主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节，具有容量大、效率高的特点。

主要技术特点

□ 彩色液晶触摸屏实时监控，可存储多种工艺菜单 □ 腔体和转架采用316不锈钢，电化学抛光处理 □ 去离子水电阻率监控功能 □ 无刷电机驱动 □ 氮气温度控制            □ 转轴氮气密封 □ 具有锁盖防护功能       □ 故障诊断、显示、报警功能 □ 可按用户特殊要求配置

主要技术指标

□ 去离子水耗量：12L/min(MAX) □ 去离子水压力：0.23~0.3MPa   (2.3~3kgf/cm2) □ 氮气耗量：240 L/min (MAX) □ 氮气压力：0.25~0.3MPa   (2.5~3kgf/cm2) □ 氮气温度控制：100℃±5℃ □ 旋转速度范围：100~900r/min □ 电源：AC220V±AC22V □ 外形：1150mm×1200mm×1250mm（800系列） □ 重量：280kg