DXQ-1100F腐蚀清洗机

DXQ-1100F 自动腐蚀清洗机是用于集成电路制造工艺过程中单晶圆湿法清洗设备。它采用单晶圆方式逐一清洗片盒内的晶圆。它使用机械手自动取片放片，有效地提高了晶圆的清洗效率和清洗效果。DXQ1100F主要针对批量生产，工艺种类繁多的用户。

主要技术特点

□ 最大可清洗晶圆尺寸：Φ150mm □ 整体机械框架采用不锈钢制造 □ 窗体及腔体观察窗采用透明PVC制造，便于用户观察晶圆状态 □ 工业控制计算机控制完成整个工艺流程，具备工艺步骤显示，步骤进度指示、故障提示、报警记录等功能 □ 设备内置化学液、去离子水加热装置，温度显示在用户界面上，温度可设定 □ 机械手取放片。晶圆转移步骤：上片盒→中心定位机构→腐蚀清洗腔→下片盒 □ 工艺步骤包括酸液腐蚀、甩干、热水清洗、冷水清洗、氮气烘干等，  满足用户多种需求 □ 工艺步骤用户可编程，包括工艺步骤增减，工艺参数设定等，大容量存储空间方便用户存储多个工艺文件，空间容量超过1G □ 人机交互方式使用触摸屏，并配备鼠标及键盘，方便用户操作

主要技术指标

□ 适应晶圆尺寸：100～150mm □ 主轴旋转速度：200～3000rpm，并可以任意设定 □ 腐蚀液过滤精度：2um □ 工艺时间设定：1～9999秒，可以任意设定 □ 电源：AC 380±10% □ 整机功率：8kW