半导体及电子元器件设备专业研发生产机构——四十五所欢迎您!
 
   
 
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45所历程

  • 1958年:中电科技集团第45研究所的前身天津电子管厂开始筹建

  • 1965年:搬迁至甘肃省平凉市

  • 1975年:改为半导体专用设备研究所

  • 2000年:在河北三河燕郊开发区建立分所,

  • 2002年:随着中国电子科技集团公司的成立,更名为中国电子科技集团公司第四十五研究所

科技研发

  • 1975年 研制成功我国首台精缩照相机,获国家科技进步一等奖

  • 1978年 研制成功我国首台图形发生器  
    1984年 研制成功我国首台分步光刻机,并获得电子工业科技进步一等奖

  • 1993年 研制成功我国首台双面光刻机,并获得国家级新产品奖,电子工业科技进步三等奖

  • 1997年 研制成功我国首台超低温阵列探针测试台,获电子工业科技进步二等奖

  • 1997年 研制成功我国首台全自动探针测试台

  • 2005年 承担的国家重点科研项目“SB-601型双面光刻机”通过了设计定型和验收,该设备是国内第一台实用化的6英寸双面光刻机,在国内处于领先水平

  • 2005年 金刚石内圆刀片镀制成型装置技术、旋转冲洗设备专用无刷电机驱动装置、油墨打印头三项专利全国第十五届发明展银奖

  • 2005年 8英寸晶片减薄机通过国家鉴定,该设备进给分辨率可达0.1μm,具有世界先进水平,在此基础上减薄出60μm的片子为国内首创

     

 

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