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代理产品与备件 |
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| 45所和 STRASBAUGH 已建立了长期的战略合作伙伴关系
，并签订了销售代理、服务协议，代理产品如下： |
nSpire (6EC)
- 200 mm CMP系统；
- 有助于耗材和工艺研发；
- 适用于75 mm到200 mm 的晶圆或基片，包括方形；
- 先进的抛光头、晶圆载体 和生产中的质量工艺控制；
- 工艺易于转换到生产平台；
- 摩擦选项。
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nHance (6EG)
- 300mmCMP系统;
- 有利于耗材和工艺研发
- 适用于150mm到300mm
- 的晶圆及方形基片；
- 先进的抛光头、晶圆载体,确保抛光均匀性和良好的工艺控制；
- 端点检测改善了工艺质量，工艺直接转换到生产平台；
- 摩擦选项；
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nTegrity (6DS-SP)
- 经证明可靠的200mmCMP；
- 集成计量、光学端点检测；
- 先进的抛光头和晶圆载体；
- 保证了抛光均匀性和良好的工艺控制；
- 应用范围广：集成电路、CMP、GMR/MR头、SOI和MEMS。
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备件：
- 以上 nSpire(6EC)、nHance(6EG)
nTegrity(6DS-SP)机型的备件以及售后服务。
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