2007年  CXS—2150型旋转冲洗甩干机    自主创新品牌产品 2006年  HP-602型精密自动划片机       中国半导体创新产品和技术奖 2006年  6英寸双面光刻机              科学技术奖 三等奖 2006年  6英寸精密自动划片机          科学技术奖 三等奖 2005年  CXS-2150旋转冲洗甩干机       国家科学技术奖 三等奖 2005年  0.5微米分步投影光刻机        国家科学技术工业委员会 2005年  自动划片机                   上海工业博览会 铜奖 2005年  全自动芯片键合机             科学技术奖 三等奖 2004年  Φ150mm旋转冲洗甩干机         科学技术奖 三等奖 2004年  0.5微米分步投影光刻机        科学技术奖 二等奖 1998年  QP-613自动内圆切片机         科学技术进步三等奖 1998年  低温探针测试系统             电子工业科技进步二等奖 1996年  BG-601大面积自动曝光机       科学技术进步二等奖 1995年  WY-203自动精密网版印刷机     电子工业科技进步三等奖 1994年  QP-4B内圆切片机              国家级新产品 1993年  TZ-107探针测试台             电子工业科技进步三等奖 1993年  功率器件曝光机               机电部科技进步三等奖 1989年  1型精密网版印刷机            机电部科技进步三等奖 1989年  QP-301切片机                 机电部科技进步奖二等奖 1985年  QP-4内圆切片机               电子工业科技成果一等奖 1985年  远紫外曝光机                 电子工业科技成果一等奖 1980年  光栅定位四头精缩照相机       重大技术改进成果二等奖 1980年  QP-3型内圆切片机             电子工业科技成果一等奖 1980年  TZ-4自动多探针               国家重大技术成果二等奖