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扫描机构:采用直线电机驱动结构,闭环控制,提高了扫描速度及精度。
※ 光栅尺分辨率:0.5µm
※ 重复精度:±0.5µm
※ 最大速度:1500mm/s
聚焦机构: 采用步进电机驱动,精密直线导轨和滚珠丝杠导向定位结构。
※ Z行程:50mm
※ 分辨率:0.5µm
承片台机构:采用不锈钢材料制作,高平面度。
※ 尺寸:315mm×160mm
※ JEDEC托盘安装机构
超声波发射接收系统:进口超声波发射接收器、探头,配备信号前置放大装置,保证信号质量。
※ 上升时间:小于1.1ns
※ 接收带宽:5-500MHz
※ 接收增益:-22-50db
※ 低高通滤波器
※ 软件可编程控制
数据采集系统:进口高速A/D数据采集卡,保证扫描速度及图像质量。
※ 采样频率:1GS/S
※ 板载缓存:256M
※ 位置同步触发
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