PG-710单面抛光机

PG-710单面抛光机是用于蓝宝石、碳化硅、砷化镓等硬脆性材料表面纳米级单面抛光设备，在抛光过程中，抛光压力、上下盘转速、抛光液流量等工艺参数采用程序自动控制，具有在线自动清洗、抛光工艺采集和存储等功能。

主要技术特点

※ 抛光盘系统：采用变频驱动技术，内置冷却水循环系统，在线清洗功能。 ※ 抛光头机构：采用变频驱动技术，可实现单头抛光，具有翻转功能。 ※ 承载装置：采用真空吸附，具有断电、断气保护功能。 ※ 全封闭外型设计，防腐性内部结构。 ※ 全中文操作界面。 ※ 抛光压力、温度、抛光流量自动控制。 ※ 标准工艺参数库的建立与工艺参数显示。 ※ 故障自动检测、提示、断电、断气保护功能。

主要技术指标

□ 抛光盘直径： φ680mm □ 抛光盘速度： 10-120r/min □ 抛光盘温度： 小于40℃ □ 抛光压力： Max 160kg □ 抛光片直径： 2 ″、3″、4″、5″ □ 承载器数量： 2 □ 承载器直径： φ300mm □ 抛光头翻转： 0-30° □ 抛光盘温度： Max 40 ℃ □ 承载器转速：10-120r/min